氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切制與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高統(tǒng)氧、高純氮、高純二氧化碳、高純氬、氮氣、氬氣、氛氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中瘋量雜質的檢測。
·吹掃型十通閥：
自帶保護氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進樣和切換時空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測靈敏度和準確性。進樣閥制作精良，外觀精美，所有材料均進行了防吸附處理，且整個間體的死體積已減小，再配合吹掃氣路的保護，從而*排除空氣滲透對樣品中痕量雜質檢測的影響
·色譜柱技術
（1）色譜柱管材內壁均做了鍵化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產生
（2）色譜柱采用的擔體均經過特殊處理，避免氧吸附等問題的產生
（3）預切柱采用了微型填充柱技術，改善了樣品的分離，兼顧分離、穩(wěn)定與快速
氦離子化氣相色譜儀氣體分析流程：
上述部分組成的氣體全分析流程，可以自動完成進樣、切制、反吹等分析過程，真正解決多種氣體中雜質的分離，滿足包括高純氮、高純氯、高純氧、高純氮、高純二氧化碳、高純氫、氟氣、部氣、氮氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測需求。
氣相色譜法是一種常用的氣體分析方法之一，它具有簡便快捷、靈敏度高等優(yōu)點，對于氣態(tài)樣品的檢測一般利用該方法進行。在氣相色譜法分析樣品的過程中，所選用的色譜柱、柱溫、檢測器等條件直接影響樣品分析的分離度和檢測限。通過對色譜條件優(yōu)化后，建立了利用氣相色譜儀進行分析的方法。
