氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè),隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,氣體工業(yè)特制是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中痕量雜質(zhì)的檢測是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié),而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn),原有的熱導(dǎo)等色譜檢測器均無濾滿足高純氣體分析的要求。
氦離子化氣相色譜儀是一種靈敏度根高的通用型檢測器,對幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合高純氣體的分析,是能等檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。新制定的國家標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定,采用氦離子檢測器材換原有的熱導(dǎo)等檢測器。
氦離子化氣相色譜儀的工作原理:
1.脈沖放電間隔和功率:
PDHID中放電屯根距離為1.6mm,改變充電時(shí)間可改變經(jīng)過初級線圈的放電功率。充電時(shí)間越長、功率越大。一般脅沖間痛為200-300us.充電時(shí)間在40-45us,基流和響應(yīng)值達(dá)較佳。因放電時(shí)間僅為1us,而脈沖周期達(dá)幾百微秒,絕大部分時(shí)間放電電極是空載。所以放電區(qū)不會過熱。
2.偏電壓:
在放電區(qū)相鄰的電極上加一恒定的負(fù)偏電壓。響應(yīng)值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達(dá)飽和。在飽和區(qū)響應(yīng)值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區(qū)內(nèi)工作,噪聲較低?;髋c偏電壓的關(guān)系同響應(yīng)值與偏電壓。
3.通過放電區(qū)的氦流速:
氦通過放電區(qū)有兩個(gè)目的;a保持放電區(qū)的潔凈,以便氦被激發(fā);b它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時(shí)間。只是它和傳統(tǒng)的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul,對峰寬為5s的色謝峰,要求氦流速為6.8-13.6ml/min,如果峰寬容至1s,流速應(yīng)提高到34-68m/min,以保持被測組分在檢測器的滯留時(shí)間短至該峰寬的10%-20%。
氦離子化氣相色譜儀是利周氟中穩(wěn)定的,低功率脈沖放電作電離源,使被測組分電離產(chǎn)生信號。PDHID是非放射性監(jiān)測器,對所有物質(zhì)均有高靈敏度的正響應(yīng)。